北京光伏新能源发电系统净化工程

北京洁净室技术对工业生产的重要性，随着经济社会的迅速发展，特别是以微电子、生物科技、高精密机加为代表的科学试验和高技术生产流程，对企业产品精加工的精密化、微型化、高纯、高品质和高可靠性提出了更高的标准。室内环境不仅影响到从业者生产加工活动中的身心健康和舒适度，而且影响到生产效率、产品品质，甚至加工过程能不能开展的首要问题。

光伏新能源净化系统:

北京光伏新能源净化工程系统用的新风空调机组(MAU)和循环空调机组(AHU)的冷媒采用6-11℃的冷冻水，加热采用0.2MPa蒸汽，加湿采用0.1MPa的洁净蒸汽加湿，洁净蒸汽由纯水经洁净蒸汽发生器产生。

1、CP室净化级别为7级，换气次数取为30次/小时，CP室工艺设备用酸量较多，采用全新风空调机组(MAU-3)+高效过滤器送风口(HEP-ABOX)的空调方式。其气流流程为：新风入口-粗效过滤器-中效过滤器-预加热器-表冷器-加热器-洁净蒸汽加湿-送风机-送风管-高效过滤器送风-洁净区。

2、ML室净化级别为7级，换气次数取为30次/小时，采用新风机组(MAU)+循环机组(AHU)+高效过滤器送风口(HEPABOX)的空调方式。新风接自其它系统共用MAU-1、2新风组。

3、CP/CVD室、LP/CVD室、北京洁净包装间净化级别为6级，换气次数取为50次/小时，采用新风机组(MAU)+循环机组(AHU)+高效过滤器送风口(HEP-ABOX)的空调方式。新风接自其它系统共用的MAU-1、2新风组。

4、7级、6级的无尘室采用的气流形式为顶部高效过滤器送风口送风，房间侧下百叶风口回风。其气流流程为：新回风混合!中效空气过滤器-表冷器-送风机-送风管-高效空气过滤器送风口-洁净区-房间侧下百叶回风口-回风管-新回风混合。

5、洗净室、品质检查室净化级别为7级，采用新风机组(MAU)+循环机组(AHU)+风机过滤器单元(FFU))的空调方式。采用的气流形式为顶部FFU送风，房间侧下百叶风口回风。FFU满布率为33%，洗净室、品质检查室对NH4+、SQx浓度有要求，需在循环机组(AHU)内增设化学过滤器。5级净化间的气流流程为：新回风混合-化学过滤器(NH4+)-化学过滤器(SQx)-中效过滤器-表冷器-送风机-送风管-送风静压箱-风机过滤器单元(FFU)-洁净区-房间侧下百叶回风口-回风管-新回风混合。新风接自其它系统共用的MAU-1、2新风组。

6、除CP室外的洁净室所需新风采用2台新风机组(MAU-1、2)集中处理，新风集中处理后送至各循环机组(AHU)。其气流流程为：新风入口-粗效过滤器-中效过滤器-预加热器-表冷器-加热器-洁净蒸汽加湿-送风机-送风管-各循环空调机组(AHU)。

7、CP室、ML室、洗净室用酸量相对较多，CP室、ML室内的高效过滤器送风口的扩散板需采用不锈钢板制作，洗净室内的FFU的网板需采用不锈钢板制作。

8另需注意，品质检查室根据工艺要求需采用黑色墙板、黑色顶板，相应采用黑色回风口，FFU的网板需采用黑色网

板。

净化系统的空调自动控制

新风机组(MAU-1、2)采用变频风机，由总送风管上的静压传感器来控制变频器。在接入每个风量及正压控制循环机组(AHU)的新风管上均设置电动调节阀，由各洁净室的正压值来调节电动调节阀的开度，使洁净室的正压值不随生产设备的排风量的变化而变化，电动调节阀的开度变化引起总送风管上的静压变化，根据其设定值调节AHU-1、2的风机频率，以达到控制目的。

净化车间/无尘车间的温湿度控制

净化生产无尘车间的湿度是由新风机组MAU-1、2来保证，控制新风机组送风状态点，根据送风状态设定值来调节干蒸汽加湿器的电动执行机构和表冷器及加热器回水管上的电动二通阀的开度。露点温度DPT由检查室内湿度敏感元件HE连续整定。

净化生产无尘车间的温度是由循环机组AHU来保证的，根据室内温度来调节表冷器回水管上的电动二通阀的开度。

供冷系统控制

冷冻水系统方面采用一级泵，用负荷控制的方法来确定冷水机组及相应水泵、冷却塔的开启台数。根据设定供、回水压差来自动控制供、回水主管之间压差流量旁通阀。